




實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性
1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用,如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏,就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類(lèi)包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。按照國(guó)標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲(chǔ)氣間,并實(shí)現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿(mǎn)足使用要求,這種氣體稱(chēng)為一般混合氣體。
對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%;含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。
在測(cè)定放1射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦為底氣。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問(wèn)題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
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